產品名稱：PANELGARD EX系列 | 點閱次數：1396 | 加入時間：2007/7/20 下午 06:54:33
圖片簡介：
PANELGARD EX系列產品具備了以下的獨特優點。
高流量、低壓差:
Entegris PanelgardTM EX 系列產品過濾面積為原226系列濾心的3~4倍，可有效滿足6代以上TFT-LCD機台對流量之需求，建議之最大流量為600LPM (需搭配 65A In/outlet之housing)
增加使用壽命:
PanelgardTM EX系列產品除了Filter口徑加大之外,過濾面積亦隨之增加,可在過濾相同體積的Chemical下,延伸有效的使用壽命。而高流量的設計亦可改善濾芯的使用效率:
半導體濕製程過濾器
精密化學液過濾器
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