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產品名稱：Gas Diffuser 設計與製造
產品名稱：Gas Diffuser 設計與製造 | 點閱次數：213 | 加入時間：2023/3/10 上午 09:18:30
圖片簡介：
使用 Gas Diffuser Technology 有下列幾點好處:
1.可過濾進入chamber之氣體, 保護wafer免於particle污染。
2.可快速vent up, 增加tool throughput。
3.提供層流(laminar flow), 避免因擾流而引起particle揚起,造成污染 – 4.increase wafer throughput。
目前；機台廠商，幾乎都已加裝Diffuser 來改善氣體供應，並為使用者增加使用設備效能。
在全球進口貨運吃緊 交期不穩定 及 少數規格 、價格居高不下 之下
我們特別推廣台灣製造的
Diffuser，並接受客製化。 |
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