|
產品名稱:Gas Diffuser 設計與製造
產品名稱:Gas Diffuser 設計與製造 | 點閱次數:244 | 加入時間:2023/3/10 上午 09:16:34 圖片簡介: 使用 Gas Diffuser Technology 有下列幾點好處: 1.可過濾進入chamber之氣體, 保護wafer免於particle污染。 2.可快速vent up, 增加tool throughput。 3.提供層流(laminar flow), 避免因擾流而引起particle揚起,造成污染 – 4.increase wafer throughput。 目前;機台廠商,幾乎都已加裝Diffuser 來改善氣體供應,並為使用者增加使用設備效能。 在全球進口貨運吃緊 交期不穩定 及 少數規格 、價格居高不下 之下 我們特別推廣台灣製造的 Diffuser,並接受客製化。 | |
|