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產品名稱：Gas Diffuser
產品名稱：Gas Diffuser | 點閱次數：350 | 加入時間：2022/3/28 上午 11:20:07
圖片簡介：
所謂Gas Diffuser ，指的是裝於chambers(load-locks ， cooldown, transfer及process chambers)上， 在chambers壓力從真空變成大氣壓的venting過程中， 將氣體(如N2)導入chambers內的一種裝置， 透過Gas Diffuser可使不穩定的氣流變成穩定的層流(laminar flow) ， 藉由加大Gas Diffuser的表面積, 則可使進氣體加大。 因此， 在極短時間內( 2分鐘內,甚或更短， 取決於進氣口壓力及tool, 如圖一) 可完成vent up的動作, 而不會有particle問題。
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