1. 現場緊急停止按鈕 ( Local E.M.O. )
2. 遠端緊急停止訊號連接點 ( Remote Shutdown )
3. UV/IR火焰偵測器連接點
4. Gas Leak 氣體偵測器連接點
5. Exhaust Gauge 排風偵測器連接點
6. 符合SEMI-S2安全規範,安全電路迴路斷電設計
7. 預留使用者定義之D/I訊號警報擴充功能