2. 遠端緊急停止訊號連接點 ( Remote Shutdown )

3. UV/IR火焰偵測器連接點

4. Gas Leak 氣體偵測器連接點

5. Exhaust Gauge 排風偵測器連接點

6. 符合SEMI-S2安全規範，安全電路迴路斷電設計

7. 預留使用者定義之D/I訊號警報擴充功能