■ 前言 :

在黃光製程技術隨著IC製程不斷地演進而逐漸成為最難控制處理的關鍵製程，隨之而來對高黏滯性( High

Viscosity ) Polyimide 塗佈的處理問題也逐漸衍生出來。

其中Gel-particle 及Micro-bubble 所衍生出來的Poor Coating / Ployimide Over Dispense 及氣泡Purge / Priming 所造成的製程不穩定和成本增加；另外，在更換Ployimide 瓶時固定要保留至少100

ml 的無謂浪費，一直是高費用的關鍵因素。

Entegris 遠在1995年製程發展之初，即已專注於此一技術之發展，並著手因應此一問題，發展出一套完整的技術----

2 stage Dispense / Filtration Pump，並成為半導體前段製程設備100%的標準， 2006 年始向半導體後段封測製程推廣，並立即達到驚人的成效；以A廠為例，每一塗佈機將因此系統使用得以改善，每月節省約NT$ 160 萬元；既，每年節省約NT$1,920 萬元。

以下將就此一技術作有系統的介紹。

■ 何謂2 Stage Dispense/Filtration技術如下圖傳統1 stage的Filtration Rate = Dispense Rate ， 因此為達一定的high Dispense Rate ，會造成high Filtration Rate ；而使，過濾器壽命減少及Gel/ particle 污染；為此， 噴量較難控制poor coating 發生機率增大、系統穩定度差。

Two stage dispense system 是以雙pump設計將filtration 和dispense 分離，以達到不影響dispense rate 之下，以較低filtration rate 達到較好的過濾效果；如下圖，使Gel, particle, micro-bubble 不致通過造成poor coating ，進而使係統穩定。

One stage dispense system中dispense rate = filtration rate 使得filter 無法有效的過濾Gel / Particle / micro-bubble；造成poor coating

■ Encompass 結構示意圖如下圖，利用Tank 作為Buffer Tank ，以避免空瓶造成bubble 貫入；再以

two stage 技術；Filtration -- Feed Pump 將Polyimide 導入並經過PI-250™Filterr ，將particle 及Gel 濾除。Vent -- micro-bubble 經Vent Valve 排除，Polyimide 到Dispense Pump 暫存；少數通過filter 的micro-bubble 在Dispense

pump 中，上浮暫存在Recirculation Valve 前； Purge -- 經Recirculation Valve將部份Polyimide 連同micro-bubble 回到Inlet 。Dispense -- dispense pump 作動將Polyimide 經Outlet nozzle 噴在Wafer 上。

■ Encompass Specification :

Recirculation Valve

Dispense Volume Range..............1.0 mL - 15 mL

Dispense Rate.............…..............0.1 mL/sec - 4.0 mL/sec*

Filtration Rate.........................…...0.1 mL/sec - 1.0 mL/sec

Suckback Rate..............................0.01 mL/sec - 4.0 mL/sec

Viscosity Range.........................…250 to 30,000 cP**

Maximum Dispense Pressure...….200 psi

Dispense Repeatability .............…3 sigma<.075mL at 1000 cP

Overall Dimensions……………….. Length -13.5”, Width - 5.3”, Height -15.0”

精確的塗佈(Accurate dispense)減少Polyimide 消耗浪費(Cost saving by reducing chemical consumption )

Gel / Particle/ micro-bubble 的有效控制. ( Good contamination control )

不用停機就可換瓶作業( Saving on tool down time )

■ 使用Encompass 的好處:

■ 結論:

如下，某大半導體封測廠實際使用Encompass 的成本分析表；該廠每一塗佈機，將因此系統使用得以改善，每月節省約NT$ 160 萬元；既，每年節省約NT$1,920 萬元。