■過濾器材質之比較

一、抗化性：一般光阻的主要成分是由下列三種組合而成

1.感光劑(sensitize)

2.樹脂(resin)

3.溶劑(solvent)

另外，為了能夠使光阻在玻璃基板上有很好的潤濕程度(wettability)，有時也會添加界面活性劑(surfactant)。在早期，由於Teflon具有良好的抗化性，所以皆是使用該材質的過濾器來作光阻的過濾，但是為了減少Teflon產品對環境的衝擊(無法用燃燒或掩埋來分解)及減少事業單位的營運成本(running　cost)，因此，目前已使用UPE材質(超高分子量PE)來取代Teflon產品。由於UPE的組成是C-H鍵，故可藉由燃燒而予以分解；而且，其結構為cross-linking所以對於solvent類的抗化性是毫無問題;其它材料如: Nilon，PE，PVDF則有抗化性的顧慮。

二、過濾程度

以3.5代之基板而言，最多也只能1片基板切出6片14.1”的面板，遠不同於1片8”wafer所能切割出數百顆的die。所以particle的絕對過濾對於TFT-LCD製程的良率提升是極重要的因素之一。

Teflon材質之結構為節點組織(string and node)。在抓取particle的效率是99.9%~99.99%;而UPE材質之結構為海綿狀組織(sponge)非常緻密，所示其抓取particle效率99.9%~99.999%。優於Teflon。

三、預溼(prewet)

這是由於表面張力的不同。一般Teflon過濾器的表面張力為18dyne/cm, 因此其易濕性(wettability)較差，在使用前要先預濕。其方法如下：

(1)以溶劑prewet或

(2)dummy dispense：直接裝在機台上，再用高壓方式讓光阻直接通過過濾器以達到預濕的目的;然而，這種方式卻通常浪費大量的光阻，又無法得知是否已完全prewet。　　

而UPE材質之過濾器，由於表面張力為31dyne/cm，與大多數的solvent 類似(28~32dyne/cm)，因此，其易濕性較好，所以直接裝上即可，毋需前處理。

以3.5代TFT-LCD製程為例，每次dispense的量約30餘c.c.，遠大於IC製程的噴量，所以一旦prewet做得不夠確實便會減少過濾器之life time，更會影響生產時的through put。

四、微氣泡(microbubble)之衍生問題

微氣泡是由於原先溶解於液體內之氣泡在流經管件,valve或pump中壓力之不同而解析出來，通常會再消失於流體中。但若是太大量，以致於來不及消失，就塗佈於substrate上，因此，filter的易濕性就成了很重要的考量。以teflon filter為例，其易濕性不好，當流體經過filter時，很容易造成microbubble的結合增加，進而dewet filter，或因增壓而通過filter的微孔濾膜孔道，形成較大的氣泡，未及溶解消失就塗佈於substrate上，而造成製程中的問題。

■過濾器結構之比較

早期的設計皆是濾心裝在housing內，每次更換濾心即可，但此方式會危害工作人員的身體健康及影響黃光區的潔淨環境。故現在都建議使用一體成型的過濾器(disposable filter)於新世;代的製程中，以避免上述的問題發生。

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