光阻的過濾建議以UPE membrane filter，因其具有以下的優點:

–相較於PTFE材質濾膜，UPE濾膜具有與光阻溶劑相近的表面張力，可即時被光阻液潤濕

–由於優越的wettability，不易形成micro bubble

–換裝filter後，不須dummy dispense purge，可減少50%以上的光阻浪費。

–針對黃光製程中棘手的soft gel及hard particle 過濾，可提供優於PTFE濾膜的過濾效率。

PanelgardTM1-2-3系列產品在使用上具備了以下的獨特優點:

-Filter更換容易，更換時間不必超過一分

鐘;只要簡短的三個步驟就可以完成

-拋棄式(Disposable)設計，更換filter時

不用擔心會有光阻漏出的麻煩，而且減

少化學品與身體接觸或吸入的機會。

-此種設計加上以UPE membrane做濾膜

材質，不需要預濕或多次dummy

dispense purge，用於光阻過濾上，可減少

光阻的浪費及上線的時間。

■ 黃光製程的其他應用

PanelgardTM1-2-3 filter在EBR(Thinner)chemical的過濾應用

PanelgardTM1-2-3 filter除了光阻的過濾應用外，也可應用於EBR chemical的過濾。EBR主要的成份為PGMEA及PGME這兩種溶劑，UPE membrane 的耐化性在這兩種溶劑上完全沒有問題，而且表面張力相近。過濾前不需預濕即可上線使用。

PanelgardTM1-2-3 filter在彩色光阻(R.G.B.resist)的過濾應用

彩色光阻過濾主要的目地在於過濾膠狀物質(Gel)，同時避免把顏料顆粒(Pigment)過濾掉及減少氣泡的影響。

Demand針對專為彩色光阻過濾應用的PanelgardTM1-2-3 filter， Polypropylene材質濾膜，它具有較大的過濾孔徑(1.2um，2.5um，5.0um)及大過濾面積，可以降低過濾時的壓差，減少氣泡產生及把Pigment過濾掉的機會，同時有效抓住Gel物質。

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