的氣體應用，舉凡精密電子製程、精密焊接、精密儀器調校等，

特別是普遍應用在Epitaxy、CVD、Etch、Furnace、Thin

Film、Photo作為過濾器之外，潔淨純化的氣體的保證；以確

保製程良率及設備及閥管件的正常操作進而提升總體效率。因

此業者不斷對Gas Purifier 研究改良，希望能製造出操作低

成本、可再生使用、沒有潛在污染、穩定無潛在公安問題的最

適產品。