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超潔淨過濾技術應用
半導體濕蝕刻製程中, 強酸、鹼、特殊化學槽設備超潔淨過濾器預濕( Pre-wet) 的麻煩及使用中不確定的顆粒 (particle)、 微氣泡、流量…等等問題。在從前一直是業界工程師的痛，不但增加工作人員暴露在特殊化學及IPA的潛在工安職病環境的機會；如此不穩定的系統更增加了化學品的更換消耗， 對環保工安的成本更是一大負擔。
Non-dewetting filter 早已成為製程應用的標準； 雖然初購成本多約20%~30% ；然，總體成本效益絕對是優於傳統 All Teflon filter
公佈單位：admin
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