在泛電子業的 LED、IC、微機電、二極體、光電、被動元件、、、等製程中不論是晶元製作或是封裝都會用到各式Tray 盤與Cassette ( 或稱為Carrier, Boat 或花籃) ;實際應用在耐溫或耐化性上材質的選擇上, 主要有 PP、PFA、Metal、Quartz、SiC。 Metal Cassette有堅固耐用的獨特性;然而,Metal Cassette 通常應用在 180℃~600℃ 的製程上;其高溫應用之下又能堅固耐用、不易毀損,並防止Particle、沾污及 Outgassing 問題,其製作重點在於各種合金的選擇及表面硬陽處理的方式,在評估選購時是務必瞭解的規範。
若要瞭解選擇晶舟時應該注意的事項。 敬請參閱 公司網站--> 首頁下方之技術簡訊及Pdf 檔--> 技術簡訊---> TBE-1101
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