超潔淨純化技術應用~
氣體供應商雖保證其氣體純度;然而,裝瓶與接管甚至純度品質都是不確定的;氣體純度皆會影響實驗的成敗與精準度。
市場上有無機催化劑吸附式 (Inorganic Catalyts) 純化器在常溫常壓下氣體純度可達到 <1ppb,particle 抓取率可達0.003um (9 LRV),且無碳氫化合衍生物,又可再生使用;這種成本低廉、簡單有效的小元件已成為實驗室及精密儀器應用的主流。
若要了解有那些因素會造成實驗室之氣體純度。
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