| 濾心式過濾器 (Cartridge filter)近年來半導體、光電及泛電子產業皆持續被廣泛的使用；因組裝上的技術問題，而造成洩漏，因此如何慎選 Housing、O-ring 及正確組裝成了重要的課題。
在廠務端(Chemical Delivery System, CDS) 與設備機台端 ( Module, Wet etch /Wet Clean)因強酸強鹼製程需求必須使用PFA Housing濾心式過濾器 (Cartridge filter) ...等皆會發生洩漏問題
若要了解有那些因素會造成濾心式過濾器洩漏。
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