對於選擇製程晶舟(Wafer Cassette) 應注意的重點，經歸納，共計有下列幾點：

1. 耐化性及溫度

2. 結構應力

3. 穩定性

4. 抗靜電力

5. 避免晶圓邊緣刮傷污染

分述如下

■耐化性及溫度

一般針對其製程化性及溫度需求材料的選擇有下列幾大項

1.Nature PFA(聚四氟乙烯)

PFA即聚四氟乙烯，長期接觸硫酸、硝酸、磷酸、氫氟酸、溴酸及各種有機溶劑不蝕變；化性最佳也應用最廣。連續耐溫180℃、暫時耐溫290℃。

2. PEEK(聚醚醚酮)聚合物

性質異常的堅韌，和極易作熱塑性加工，可以為運用特性來設計，如耐磨損性、靜電放電量控制、和精密尺寸(tighttolerance)。有極佳抗衝擊性的機械性質，更快的設備安裝和產品堅固性。高抗化學性可以承受大部分的化學物質，讓設備受到保護和提高使用壽命。使整個系統的成本降低，和提升投資報酬率(ROI)。連續耐溫120℃、暫時耐溫340℃。

3.P.P. Polypropylene(聚丙烯(- C3 H5 -)n)

為人工合成之晶形熱塑型聚合物。在60℃以下能抗酸、鹼，但卻受氯氣、發煙硝酸以及其他強氧化劑之作用，具可燃性。所以，此材質適用在(1)Solvent (2)Selected acids andbases (3)DI and RO Water

4.Metal 金屬

一般有鋁及不鏽鋼，耐用性高；大部分應用在乾製程或

Solvent 中；連續或暫時耐溫均可達到450℃。

■結構應力

Cassette的整體設計除了化性及溫度之外要推結構為最重要的考量重點；因為其承載的是昂貴的晶圓，任何結構性的改變或損壞，所造成的破片及設備停機或損壞失，都將是一筆可觀的損失；特別是承載25片以上晶圓及濕製程，Cassette強化的應力設計是特別的重要。

由於晶圓(Wafer)方便、安全、穩定的在製程機台轉換運送運送儲存是極為重要的；因此， Entegris 有著多樣的專利設計及材料選用重點；一般市場使用經驗壽命是同款其它廠牌的1.2~ 1.5 倍以上。

■穩定性

穩定性包括材料及結構兩方面Entegris 在相關產業超過40年;Entegris 在Wafer Handling 的技術及應用鑽研多年，一直居於領導地位，更參與主導標準的制定；是佔有率超過80% 的主要的供應商；有著如此的資源及經驗，以確保產品品質穩定性，避免與自動化設備介面的Window 飄移，造成毀滅性的損失。

■抗靜電力

晶元在搬運儲存的過程中對靜電危害十分敏感，稍有不慎就會造成Wafer fail 或Die defect；因此，不論是Process Cassette或Shipper Cassette 甚至是hipping Box 對抗靜電力的要求都十分重視。一般是加入Carbon Fiber 或Carbon Powder；唯， Powder會有粉沒剝離及Particle 污染的潛在危害。

一般有：

PEEK+Carbon Fiber

P.P.+Carbon Fiber

■避免晶圓邊緣刮傷污染

一片晶圓可利用率是相當重要的，因為它直接關係到單位成本；特別是，當半導體產業線寬向更小的製程發展，半導體製造商就更在乎可使用的晶元面積。這也促使設備製造商尋求減少之前原本忽視的邊緣粒子污染。Entegris 的設計可以減少因晶圓邊緣和cassette 接觸而造成的particle 污染所造成的device defects，使用者能具體看到至少50%的改善；此外，設計可多次使用，可降低COO 和環保問題。