| 半導體製程 晶圓在製程、運送上一直是很重要的議題，因為
無污染、方便、安全、精確、穩定的在製程機台轉換運送如此
昂貴的成品和半成品是極為重要的標準程序。在此，特藉由本
篇技術簡介資料，將以往對於製程晶舟的設計研究之結果，作
系統性的整理，讓各位對於製程晶舟的相關產品，有更深入的
了解；才能夠正確選擇最適化的晶舟。
對於選擇製程晶舟(Wafer Cassette)應注意的重點，經歸納，共計有下列幾點：
耐化性及溫度
結構應力
穩定性
抗靜電力
避免晶圓邊緣刮傷污染
歡迎來電詢問 03-6565657-211 |
