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單槽系統過濾時注意事項
單槽系統過濾時注意事項 :

一 預濕(prewet)

在單槽系統過濾中,其標準規格是全氟(all-teflon)過濾器,在使用時仍需IPA預濕及擴管相當不方便及不安全不方便性.

二 流量(flowrate)

目前單槽系統中所用之全氟過濾器,會因dewet而造成micro bubble或prewet不完全(或不確實),而會影響流量的一致性。

三 抓取particle 的能力(Particle Retention)

單槽系統的過濾為one path,並非為循環式過濾。所以對於過濾器而言,particle retention就更加重要。我們建議應採用結構更嚴謹,緻密的過濾器,以確保化學液更潔淨。

四 potential

目前國內為了有效降低IC生產成本以提高獲利(或減少損失),紛紛進行製程微縮(die shrink)計劃,例如:將製程由0.175um推進至0.14um,是否會造成製程技術提昇時的隱憂,不可不察。此處建議可藉由評估0.05um的過濾器,來了解0.05um與0.1um的過濾器是否對良率有所影響。

 
公佈單位:admin
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