1.低流量:過濾器表面積太小、過濾器已負荷大量粒子或濾膜部份乾掉(dewetting)。

2.過濾器壓差太大:化學品黏滯性高或流量過高。

3.高粒子數:化學品或晶片的粒子數高。

4.離子污染:使用化性較差的過濾器且使用時間過長；因此，離子漸漸超出標準值、晶片上呈現出不良或操作員不小心污染到機台。

5.化學品的更換:更換與目前所使用不相同的化學品。

6.定期保養:廠務端(供應端)年度保養或機台端(使用端)季或半年度保養。

7.過濾器出現問題:過濾器與化學品不相容、過濾器老化或操作溫度過高。

8.問題解決:嘗試消除可能的問題來源。

9.過濾器測試:評估。