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Metal Cassette的評估重點
Metal Cassette的評估重點 :

1.防止Particle 及沾污問題

製程上由於潔淨的要求Cassette及Tray 在設計上防止Particle 及沾污問題是重要的;而表面處理及避免沾污 設計與否就十分攸關。

2.防止材質 Outgassing 污染問題

高溫之下 Outgassing會將油氣或離子解離出來污染晶圓,增加製程上瑕疵的變數。

3.堅固耐用不易毀損、高溫差下不易變形

200℃ 以上高溫烘烤時各溫度區間的金屬硬度、抗拉強度、延展性均不同,各溫度區間的必須配合最適的鋁合金成份。由於長期 頻繁使用熱冷交換使用在熱脹冷縮之下結構會有公差漂移的可能,以致變型。而卡鉗式組裝方式相較 鎖螺絲組裝方式在掉落、碰撞後較容易變型與損毀。

4.避免破片、刮片問題

放置矽晶圓,不論是手動或是自動與塑膠 Cassette 作轉換的作業,晶圓難免會碰觸到 Cassette ,特別是 Pitch 與 Pitch 間隔空間的製作與設計。

5.客製化設計與修改

因為應用及設備機台的不同,除一般標準外、客製化設計與修改是必要的;以更符合使用及避免破片、刮片的發生。

 
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